3D线光谱共焦传感器是基于光谱共焦法原理的非接触式光学精密测量装置，具备杂光干扰免疫的独特优势，适合于3C、半导体、新能源领域的三维形貌尺寸测量，表面平整度、粗糙度以及缺陷瑕疵的检测。

3D线光谱共焦传感器-核心优势

可有效解决对高反光、镜面、透明/半透明、倾斜角大、漫反射等等材质的在线高精度测量；同轴式光谱共焦传感器还具备更大的镜面角度兼容性，适用于更多场合。

海伯森HPS-LCF系列3D线光谱共焦传感器特点

内置高效AI图像识别算法，扫描被测物一次即可获取表面全貌/部分的3D成像分析；

可测量物体表面尺寸、形貌、高度、角度、厚度等，以此分辨外观缺陷特征；

材质适应性极强，可有效解决透明/半透明、高反光、强吸光等材料检测的难题；

微米级精度检测：X轴分辨率2.9μm，且具备点/线，Z轴重复精度达0.1μm；

实现32万亿次/秒的运算处理速度，40G光纤传输，扫描速率可达线/秒；

IP55工业防护，具备±20.5°的角度兼容特性，检测可同时输出2D/3D数据，能适应不同环境下的不同检测需求；

完备的SDK及一站式软件支持服务，操作简易灵活。

可提供产品选型

应用案例鉴赏